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【Hitachi】日立高性能钨灯丝扫描电镜SU3500
產品簡介
通過高畫質提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立*********科技“独具匠心”。
SU3500钨灯丝扫描电镜具有实现了“3kV加速电压7nm分辨率”的全新电子光学系统, 可实现实时立体成像的“实时立体观察功能”＊1, 以及更高检测效率的 “UVD超高灵敏度可变压力检测器”＊1。
它爲觀察和分析提出了嶄新的標準。
規格參數
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项目 |
描述 |
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| 二次电子分辨率 | 3.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm高真空模式） | |
| 7.0nm（加速电压=3kV，WD=5mm高真空模式） | ||
| 背散射电子分辨率 | 4.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm低真空模式） | |
| 10.0nm（加速电压=5kV，WD=5mm高真空模式） | ||
| 放大倍率 | 5 - 300,000倍（底片倍率＊5） | |
| 7 - 800,000倍（显示器显示倍率＊6） | ||
| 加速电压 | 0.3 - 30kV | |
| 可变压力范围 | 6 - 650Pa | |
| 最大样品尺寸 | 直径 200mm | |
| 样品台 | X | 0 - 100mm |
| Y | 0 - 50mm | |
| Z | 5 - 65mm | |
| R | 360° | |
| T | -20° - 90° | |
| 可观察区域 | 直径 130mm （旋转并用） | |
| 最大样品高度 | 80mm（WD=10mm） | |
| 马达台 | 5轴标配 | |
| 电子光学系统 | 电子枪 | 预对中的钨灯丝 |
| 物镜光阑 | 4孔可动光阑 | |
| 探检测器 | 埃弗哈特 索恩利 二次电子探测器 | |
| 高灵敏度半导体背散射电子检测器 | ||
| EDX分析 WD | 10mm（取出角35°） | |
| 图像显示 | 操作系统 | Windows® 7＊7（如有更改，恕不另行通知） |
| 图像显示模式 | 全屏模式（1,280 × 960 像素） | |
| 小屏模式（800 × 600 像素） | ||
| 双图像显示（800 × 600 像素） | ||
| 四屏幕显示（640 × 480像素） | ||
| 信号混合模式 | ||
| 排气系统 | 操作 | 全自动排气 |
| 涡轮分子泵 | 210升/秒 × 1 | |
| 机械泵 | 135L/min（162L/min，60Hz）× 1 | |